一、通過不同光學元件形成參考光路和檢測光路。
二、原理過程：
(1)利用干涉原理測量光程之差從而測定有關物理量的光學儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會非常靈敏地導致干涉條紋的移動，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質折射率的變化引起，所以通過干涉條紋的移動變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量，從而測得與此有關的其他物理量。
(2)測量精度決定于測量光程差的精度，干涉條紋每移動一個條紋間距，光程差就改變一個波長(～10-7米)，所以干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的，其測量精度之高是任何其他測量方法所無法比的。
三、檢修方法：
1.分光板膜層應是入射光的第二面，如裝在第一面，則調出的等傾干圓涉環是直的橢圓形干涉環，可旋松分光板的三只寬頭螺釘，取出分光板，反過180°重新裝入金屬框內，把三只寬頭螺釘旋到原來的壓緊力。
2.分光板調整請參考故障檢修方法。分光板，補償板的寬頭螺釘，移動鏡及參考鏡的調節滾花螺釘壓緊力過大，使各鏡片逐步變形產生等傾干涉圓環不規則，適當放松過緊的螺釘即可消除。
四、維護：
1.光學零件不用時，應存放在清潔的干燥盆內，以防止發霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭，必要擦拭時，須先用備件毛刷小心撣去灰塵，再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和醚混合液輕拭。
2.傳動部件應有良好的潤滑。特別是導軌、絲桿、螺母與軸孔部分，應用T5精密儀表油潤滑。
3.使用時，各調整部位用力要適當，不要強旋、硬扳。
更新時間：2023-02-21
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三坐標測量儀
