中圖儀器SuperViewW1光學3d輪廓儀一體化操作軟件,測量與分析同界面操作,預先配置好分析參數,軟件自動統計測量數據,實現快速批量測量。
在測量大尺寸樣品時,中圖3d輪廓檢測儀器的拼接功能,能將測量的每一個小區域整合拼接成完整的圖像,拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致,可達0.1um。
中圖儀器3d光學輪廓儀設備可以達到納米級的檢測精度,并快速獲得被測工件表面三維形貌和數據。可廣泛應用于汽車零部件、半導體制造及封裝工藝檢測、微納材料及制造、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、高??蒲性核阮I域中。
中圖儀器3D粗糙度輪廓儀支持拼接功能,將測量的每一個小區域整合拼接成完整的圖像,拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致,可達0.1um。
SuperViewW1 玻璃表面粗糙度測量儀數秒內即可獲得平面和曲面表面上測量所有常見的粗糙度參數。其載物臺XY行程為140*110mm(可擴展),Z向測量范圍可達10mm,在測量大尺寸的樣品時,可以選擇拼接測量(拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致,可達0.1um)。
SJ5700S表面粗糙度測量儀器能實現對各種工件表面粗糙度的測量和分析。具有較大的測量量程(X軸200mm,Z軸0-450mm,Z0軸±20µm~±400µm),一次測量,可分析工件不同區域粗糙度,提高測量效率。